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SF6气体回收装置

回收装置的基本工作原理是采用冷冻液化法。在回收时，氦检漏，利用压缩机的抽吸性和压缩性把SF6电器设备内一定压力的SF6气体吸入压缩机，氦检漏仪操作，并压缩至某一较高的压力。同时利用R22制冷剂的低蒸发温度特性，氦检漏装置，将较高温度的SF6气体冷却至冷凝温度进行液化、贮存。这样连续抽吸至SF6压缩机串联运行，直至达到回收终压力。

在充放时，首先利用本装置的真空泵对SF6电器设备（或钢瓶）和连接管路进行抽真空，然后直接利用压差或利用压缩机的抽吸性并造成一定的压差将装置贮存容器内的SF6充入SF6电器设备，直至达到所需的工作压力。在需灌瓶时则同时利用如前所述的R22制冷剂的特性，将液化的SF6直接灌入钢瓶。

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充气柜箱式氦检漏设备实现远程云服务控制系统

由于“控制机构”的输出为弱电(DC24V)信号带载能力比较弱，而“执行机构”为强电(多为AC200V、AC380V)。故不能直接带动“执行机构”。驱动机构的作用是把“控制机构”的输出信号放大转换，使其能带动“执行机构”。主要由电力调节系统等组成。

执行机构

完成某种功能的较终器件。主要有用于抽真空的各个真空泵、控制各个管路的阀门。

检测机构

检测机构由真空计、检漏仪、压力传感器、氦浓度仪组成。真空计用于测量工件压力、真空箱压力；检漏仪用于测量工件漏率；压力传感器用于测量高压罐压力、低压罐压力、氦气源压力；氦浓度仪用于测量高压罐内氦气的浓度。

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